台媒：台积电EUV光刻机采购将超过50台 远超三星

9月28日消息，据台媒报道，台积电加速先进制程推进，近期扩大释单，累计 EUV 机台至 2021年底将超过50台。

报道指出，相较之下，三星电子（Samsung Electronics）2021 年还不到 25 台，同时 EUV POD（光罩传送盒）采购量远低于预期。

台积电 8 月举行了年度技术研讨会，透露了其在尖端制造实力方面的情况。台积电占据了业界 EUV（极紫外光）设备安装量的 50%。此外，台积电还拥有约 60% 的 EUV 晶圆累计产量。

ASML 是唯一一家生产和销售 EUV 光刻设备的公司。按照 Cutress 此前估计，台积电已经从 ASML 购买了 30-35 台设备。据此估算，ASML 已售出约 70 台机器，到 2020 年底可能会卖到 90 台。